電子特氣是僅次于硅片的第二大晶圓制造材料，幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有較大影響。

近年來，在政策支持等多重因素的推動下，我國建立起了相對完整的電子特氣生產(chǎn)和供應(yīng)體系，產(chǎn)能逐步釋放，部分產(chǎn)品性能可比肩國際先進水平，達到了集成電路用電子氣體的工藝要求。

但當前我國和國外龍頭企業(yè)相比還有較大差距，電子特氣受制于人的局面尚未徹底扭轉(zhuǎn)。“據(jù)中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，目前集成電路生產(chǎn)用的電子特氣，我國僅能生產(chǎn)約20%的品種，所占國內(nèi)市場份額僅為12%，進口依賴度高，關(guān)鍵核心技術(shù)受制于人，國產(chǎn)化水平亟待提升。” 全國人大代表、聯(lián)泓新材料科技股份有限公司董事長鄭月明也關(guān)注到此情況，并建議加強頂層設(shè)計，引導產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展；加大電子特氣創(chuàng)新研發(fā)支持力度，增強人才支撐；大力支持電子特氣國產(chǎn)化和市場應(yīng)用；進一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強。

多重壁壘 制約產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

我國電子特氣產(chǎn)業(yè)受制于人，一方面是因為我們起步晚、技術(shù)基礎(chǔ)偏弱， “就純度而言，先進制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度達到5N—6N（99.999%—99.9999%），甚至7N（99.99999%）以上。目前國外多數(shù)龍頭廠商電子特氣純度可維持在6N，我國企業(yè)主要在4N—5N的中低端領(lǐng)域，僅少數(shù)能達到6N級別。可以看到，產(chǎn)業(yè)技術(shù)壁壘較為明顯。”鄭月明代表指出。

另一方面也與產(chǎn)業(yè)認證壁壘和市場壁壘較高的特性有關(guān)。鄭月明介紹，下游高端領(lǐng)域客戶對供應(yīng)商的選擇均需經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認證2輪嚴格的審核認證，其中集成電路領(lǐng)域的審核認證周期長達2至3年，對于電子特氣生產(chǎn)企業(yè)來說時間成本較高。

同時，全球芯片產(chǎn)業(yè)較為集中，多數(shù)已和外資氣體供應(yīng)商建立了較穩(wěn)固的長期合作關(guān)系，一般不輕易更換。在市場格局已被外資企業(yè)率先搶占的背景下，國內(nèi)氣體企業(yè)上機檢測的機會較少，實現(xiàn)從0到1的突破比較困難。

加大扶持 促進國產(chǎn)替代做大做強

針對以上行業(yè)現(xiàn)狀，鄭月明提出四項建議，即加強頂層設(shè)計，引導產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展；加大電子特氣創(chuàng)新研發(fā)支持力度，增強人才支撐；大力支持電子特氣國產(chǎn)化和市場應(yīng)用；進一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強。

在加強頂層設(shè)計和增強人差支撐方面，鄭月明代表提出，“建議由國家有關(guān)部委牽頭，充分發(fā)揮行業(yè)協(xié)會作用，聯(lián)合科研院所和相關(guān)企業(yè)，開展電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展策略研究，制定行業(yè)發(fā)展中長期規(guī)劃，明確發(fā)展目標。同時，可以通過政策引導，鼓勵企業(yè)加大研發(fā)投入。對技術(shù)門檻高的電子特氣研發(fā)項目，給予專項資金支持。支持高校設(shè)立相關(guān)學科專業(yè)，支持科研機構(gòu)相關(guān)研發(fā)平臺建設(shè)。”

在國產(chǎn)化和市場應(yīng)用方面，鄭月明建議出臺相關(guān)政策，支持和鼓勵產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)作，共同建設(shè)協(xié)同創(chuàng)新體系，打破或減少市場壁壘。支持集成電路、平板顯示企業(yè)優(yōu)先使用國產(chǎn)電子特氣產(chǎn)品，落實重點新材料首批次應(yīng)用保險補償機制，鼓勵保險機構(gòu)探索設(shè)計相關(guān)產(chǎn)品責任險，降低產(chǎn)品認證風險。

此外，鄭月明代表還建議，進一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強。在特氣項目審批、融資、要素保障等方面提供支持。支持優(yōu)質(zhì)企業(yè)上市，支持上市企業(yè)通過增發(fā)、可轉(zhuǎn)換債券和配股等再融資方式做大做強，進行產(chǎn)業(yè)整合，提升國際競爭力。